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问题：

[单选] Torr是指（）的单位。

真空度。磁场强度。体积。温度。

参考答案

问题：

[单选] 离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。

分析器。扫描器。加速器。偏转器。

参考答案

问题：

[单选] （）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。

Cl₂。BCl₃。CO₂。H₂。

参考答案

问题：

[单选] 早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

重离子加速器。热扩散炉。质子分析仪。轻离子分析器。

参考答案

问题：

[单选] 离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

中子源。离子源。电子源。质子源。

参考答案

问题：

[多选] 离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

砷化氢。二硼化氢。四氟化硅。三氟化磷。五氟化磷。

参考答案

问题：

[单选] 在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

电子振荡放电。离子自动放电。低电压弧光放电。双等离子电弧放电。

参考答案

问题：

[单选] 离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

正。负。中性。以上答案都可以。

参考答案

问题：

[单选] 引出系统要求能引出分散性较好的强束流，还希望具有较（）的气阻。

无序。稳定。小。大。

参考答案

问题：

[单选] 离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。

低。高。均匀。不均匀。

参考答案

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