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问题：

[单选] 离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。

渐近角。偏折角。散射角。入射角。

问题：

入射离子的能量。入射离子的质量。入射离子的原子序数。靶原子的质量、原子序数、原子密度。注入离子的总剂量。

问题：

临界剂量。饱和剂量。无损伤剂量。零点剂量。

问题：

非晶层。单晶层。多晶层。超晶层。

问题：

注入离子的质量。靶的种类。注入温度。注入速度。注入剂量。

问题：

低温注入。常温注入。高温注入。分子注入。双注入。

问题：

能量淀积。动量淀积。能量振荡。动量振荡。

问题：

热退火。激光退火。电子束退火。离子束退火。

问题：

热退火。激光退火。连续激光退火。脉冲激光退火。

问题：

一般和特殊。脉冲和连续。高温和低温。快速和慢速。

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