当前位置：集成电路制造工艺员题库＞集成电路制造工艺员（三级）题库

问题：

[单选] 离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

等离子体。不等离子体。正离子体。液电流。

问题：

极大值。极小值。既不极大也不极小。小于动能。

问题：

增大。减小。不变。变为0。

问题：

长度。深度。宽度。表面平整度。

问题：

剂量分布仪。剂量统计仪。电荷分析仪。电荷积分仪。

问题：

二次电子。二次中子。二次质子。无序离子。

问题：

单晶靶。超晶靶。多晶靶。非晶靶。

问题：

I-V转换。V-f转换。十进制计数电路。控制电路。红外探测器。

问题：

离子距离。靶厚。射程。注入深度。

问题：

投影射程。射程纵向分量。射程横向分量。有效射程。

...