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问题:

[单选] 晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的()使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。

A . n型掺杂区
B . P型掺杂区
C . 栅氧化层
D . 场氧化层

露天采场工作帮坡角的定义是什么? 动作组合要有虚有实体现的是进攻组合要求的()。 起重机的工作参数有:起重量、幅度、起升高度、各机构的工作速度、()及生产率。 工作级别。 工作效率。 稳定性。 自重。 润滑脂用于集中润滑站时,针入度一般应在()(1/10mm)以上。 100。 200。 300。 400。 仪表风中断,甲醇精馏单元的现象有()。 A、回流调节阀全开。 B、膨胀槽压力下降。 C、精馏塔压力上升。 D、回流槽液位上升。 晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的()使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。
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