[单选] 在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。

IS09004:2000标准是¨指南”，可供组织作为内部审核的依据，也可用于认证和合同目的。 PDCA循环是全面质量管理的科学方法，可用于企业各个方面、各个环节的质。景管理活动。 质量管理体系是指在质量方面指挥和控制组织的管理体系，它是组织若干管理体系的一个。 企业应当具备法人的资格或是法人的一部分，才可以申请质量体系认证。 标准化的重要意义是提高产品、过程或服务的质量，防止贸易壁垒，并促进技术合作。 在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（）。